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摘要 wgeNs9L vW,snxK6y& rPzQ8< ]Z<_ "F 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 H/F+X?t$0 u?+bW-D'd 建模任务 n7LfQWc A^fjfa);V 4_M>OD/" /Wk9-uH 由于组件倾斜引起的干涉条纹 E|"=.
T Y o0FUj ZsP2>%" )YW<" $s 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 omZO+=8Q g{s'GyV8t J a,d3K
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