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摘要 VAs(.y 9T?64t<Ju !*_K.1' V_f`0\[x 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 9x[ U$B xDUaHE1co 建模任务 PtqGX=u B4^`Sw 4'm q_o#4W U!0E_J 由于组件倾斜引起的干涉条纹 Zih ?Bm t!0dJud ?@DNsVwb %Hwbw],kl8 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 -X8eabb LipxAE?O k}U
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