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摘要 ;/0 Q1- >y}M.Mm 薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 9{$'S4 e{KByFl 4&HXkRs: \T;\XAGr 建模任务 &<+ A((/i _$p$") gN>2xnh'm @rHK(25+d 正弦光栅—效率与高度(TEA) ^::EikpF% R@wjccu 2 QNNp:`6 F|&{Rt 正弦光栅—透射相位曲线 *#TYqCc+g w ~ dk#= (4@lKKiU%H fi+R2p~vs 正弦光栅—透射相位曲线 4:7V./" 9 kvh&d| /1 RAAa 1RKW2RCaW_ 正弦光栅—衍射效率 TyKWy0x-3 4HAp{a1 .@"q$\ m{7^EF 正弦光栅—效率与周期 qClHP)< unJ R=~E S2>c#BQ e;GU
T: 正弦光栅—特定周期下的相位曲线 &wU'p-V '<R>E:5 )XfzLF7 *0_yT$ 闪耀光栅—效率与高度(TEA) YUf1N?z `+#G+Vu5 f,z P* >3gi yeJ 闪耀光栅—透射相位曲线 W-
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<}jPXEB" 闪耀光栅—衍射效率 `mH %!{P L'i-fM[# [~\PQYm' m uW!xY 闪耀光栅—效率与周期 B$ KwkhMe $hR)i 93IFcmO.H@ PS
S?|Vk 闪耀光栅—特定周期下的相位曲线 #&8}<8V j%V["?) U6[ang'l dP]1tAO,y VirtualLab Fusion一瞥 L5IbExjV U Q@7n1 qpJ{2Q ]ALc;lb-} VirtualLab Fusion工作流程 /?/#B ` :
t$l.+B N:VX!w • 设置光栅结构 CJaKnz −使用界面配置光栅结构[用户案例] A\Txb_x • 分析光栅衍射效率 d {2 −光栅阶次分析器[用户案例] xKOq[d/8 • 通过参数运行检查不同参数的影响 -V %gVI[ − 利用参数运行文档[用户案例] 5~XN>>hp JM.XH7k .w6eJ4] *pzq.# VirtualLab Fusion技术 E3/:.t d h^^G^ ~9Cz6yF
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