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摘要 6099w0fR` py/#h$eY 在传统的 Talbot 光刻中,在光敏层中仅使用一个图像。 但是,可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中,按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM,也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像,在主像平面中会再现柱状图案,而在次要像平面中再现孔图案。 ~P-^An^ DnB :~&Dw M"OCwBTU k#5Qwxu` 建模任务 +'g~3A-G E@@XWU21;N v?q)E%5j SUoUXh^!w structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) kbx4I? 9iK%@k 系统建模块 =kW7|c5Z 7t%
|s!~ 1|7tq o7fJ@3B/ 特定位置的Talbot图案 [_tBv" z =%crSuP $viZ[Lu!m _GL:4 特定位置的Talbot图案 =|3*Y0 j@jUuYuDgl @B>pPCowa 不同位置的Talbot图案 WSx0o} T^nOv2@, t \,XG ^#z* 不同位置的Talbot图案 2Ni {fC?
OGnuBK GaOM|F'> Uj)`(}r 沿 Z 轴的强度 ^r
9 7MwS[N%# J+Zp<Wu- AKUmh VirtualLab Fusion技术 hyC]{E >+ku:<Hw%. k :`yxxYIh
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