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    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-06-27
    摘要 V6$v@Zq  
     5Cy)#Z{  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 V7401@F  
     X\%],"9%  
    /2HwK/RZ  
    Gcs+@7!b  
    建模任务 $;;?'!%.  
    Zc9 n0t[  
    V7[qf "  
    @/0aj  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) Z^fF^3x  
    yl'~H;su  
    系统建模块 8:&@MZQ&!  
    Z@ws,f^e  
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    NOS5bm&-  
    特定位置的Talbot图案 6:EO  
    I$ mOy{/#  
     fRa1m?%s  
    [ objdQU`  
    特定位置的Talbot图案 <![T~<.  
    r>)\"U#  
    [U jbox  
    不同位置的Talbot图案 MJg^ QVM  
    Q49|,ou[H  
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    4_"ZSVq]#  
    不同位置的Talbot图案 |M K-~ep  
    Zh(f2urKV  
     r\Nn WS J  
    2d>PN^x  
    沿 Z 轴的强度 *TXq/ 3g  
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     -xcz+pHQ  
    =;{S>P!I(t  
    VirtualLab Fusion技术 Z?x]HB`r  
    2)8lJXM$L  
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