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    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-06-27
    摘要 R .UumBM  
     O*4gV}:G  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 s*+ZYPk  
     8GW ut=D  
    5m 3'Gt4  
    b_mWu@$  
    建模任务 q]+)c2M  
    zP|*(*  
    :f]!O@.~  
    i^/Di Wdyf  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) _r7=&oL.Q  
    IrUi E q  
    系统建模块 R ^^ 1/%  
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    特定位置的Talbot图案 @92gb$xT  
    F_ _H(}d  
     jDJ.  
    >&[3  
    特定位置的Talbot图案 y\@SC\jk|  
    N[]U%9[=2F  
    gTuX *7w  
    不同位置的Talbot图案 6yp+h  
    v2(U(Tt  
     6s&qZ+v-  
    -D;lS 6  
    不同位置的Talbot图案 BM.-X7)  
    *seu&  
     Ef-a4Pi  
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    沿 Z 轴的强度 at=D&oy4"+  
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    E2-ojL[6  
    VirtualLab Fusion技术  srvYAAE  
    N]V/83_  
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