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摘要 !M\8k$#"n
pFhznH{0 在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 (zte 'F4
=#^\ 9|?$  "RiY#=}sm |} =xA%) 建模任务 n }0[EE! w_P nEJa9  !np-Jmi }mz@oEB#vF structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) DOyYy~ Q =[`B -? 系统建模块 OjFB_
N H+6+ I53  G*J asHFs PVLLuv 特定位置的Talbot图案 90X <Qs Z0 @P1
 IN~ Q(A]Z% Z7J8%ywQ 特定位置的Talbot图案 i mC>T!-7 xim'TVwvC  LR%]4$ /M 不同位置的Talbot图案 f0S$p
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