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    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    5119
    光币
    19911
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 06-27
    摘要 (|S e+Y#e,  
     myH#.$=A  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 ^)X^Pcx  
     KX{S8_  
    7dAa~!/(  
    ZMbv1*Vt  
    建模任务 (}'0K?  
    y6$5meh.T  
    `/"TYR%  
    _Nw-|N.  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) uA,K}sNRZ  
    }y'KS:Jb  
    系统建模块 d]CRvzW  
    PX+$Us  
    p=T]%k*^h#  
    - v`;^X  
    特定位置的Talbot图案 B+,Z 3*  
    ;|66AIwDe  
     s2q#D.f  
    gzxLHPiw  
    特定位置的Talbot图案 XBCz\f  
    ;l"z4>kt7  
    ^IY1^x  
    不同位置的Talbot图案 f~9ADb  
    {~VgXkjsC  
     #VtlXr>G  
    D[ny%9 :  
    不同位置的Talbot图案 T~_+\w  
    0Bb amU  
     .Q4EmpByCg  
    >{V]q*[/;Q  
    沿 Z 轴的强度 n hS=t8H  
    <Xv]Ih?@f`  
     S'lZ'H/  
    cW%F%:b  
    VirtualLab Fusion技术 $yBU ,lu}  
    MX]<tR`  
     ~}(}:#>T  
     
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