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    [求助]镀膜后环测双85实验,外观有水渍点无法去除,什么原因? [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 06-24
    镀膜设备,光驰OTFC,工艺条件:Ta2O5+SIO2,   温度:320℃,射频源 >"3>s%  
    RH;:9_*F  
    w>?Un,K  
     
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    离线ouyuu
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    只看该作者 1楼 发表于: 07-15
    两个可能。1,离子源的中和电流不够,导致膜内有电荷积聚,调大中和电流试试。 jZfx Jm  
    2,片子洗净的问题,镀前用离子源多轰一下,看看有没有改善。 e59dVFug.U  
    Si}HX!s  
    另外中和器偶尔的打火也有可能造成电荷积聚,但这个不会每炉都会实现。 Mc sTe|X  
    离线renlgj
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    只看该作者 2楼 发表于: 07-18
    学习中,谢谢楼上各位