摘要 k keDt+^
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直接设计非近轴衍射分束器仍然是很困难的。由于有相对较大的分束角,元件的特征尺寸一般等于或小于工作波长。因此,它通常超出近轴建模方法的范围。在此示例中,将迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)用于衍射元结构的初始设计,然后将傅里叶模态法(FMM)应用于严格的性能评估。 K7c[bhi_w
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设计任务 PnZC
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纯相位传输的设计 $Ts;o
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使用迭代傅立叶变换算法(IFTA)进行纯相位传输设计。 W5,&*mo
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结构设计 M@+Pq/f:
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在近轴假设下使用薄元近似(TEA)进行结构设计。 __Zex5Y#-
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使用TEA进行性能评估 ]-;MY@
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在近轴假设下使用TEA进行评估,即与设计方法相同 WG*),P?
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使用傅里叶模态法进行性能评估 2Q 5-.2]
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使用严格的FMM进行评估以检查非近轴情况下的实际性能。 M+*K-zt0
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进一步优化–零阶调整 R@){=8%z
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无需任何假设即可使用FMM直接进行结构优化。 WK0:3q(P
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进一步优化–零阶调整 ZUkM8M$c
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无需任何假设即可使用FMM直接进行结构优化。 BA[ uO3\4
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VirtualLab Fusion一瞥 )-0+O=v
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VirtualLab Fusion中的工作流程 <4n"LJ9
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• 使用IFTA设计纯相位传输 /b\c<'3NY
•在多运行模式下执行IFTA D5!#c-Y-
•设计源于传输的DOE结构 NcBz("
−结构设计[用例] 'E&tEbY
•使用采样表面定义光栅 S+"Bq:u"
−使用接口配置光栅结构[用例] E]v?:!!ds
•参数运行的配置 ,}O33BwJp
−参数运行文档的使用[用例] Si@6'sw
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VirtualLab Fusion技术 =?Ui(?tI
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