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高NA(数值孔径)物镜常用于光学显微及光刻,并已广泛在其他应用中得以使用。众所周知,在高数值孔径物镜的使用中,电磁场矢量特性的影响是不可忽略的。一个众所周知的例子就是由高NA(数值孔径)物镜聚焦线性偏振圆光束时,焦斑的不对称性:焦斑不再是圆的,而是拉长的。我们通过具体的物镜实例来说明了这些效应,并演示了如何在VirtualLab Fusion中使用不同的探测器分析焦斑。 o
IUjd Y'75DE<BC 高数值孔径物镜的聚焦分析 Vz"Ja 高数值孔径(NA)物镜广泛用于光学光刻、显微系统等。在对焦斑的模拟中考虑光的矢量性质是非常重要的。 Bbb_}y|CA w4S0aR:yL 高数值孔径(NA)物镜系统的先进点扩散函数计算 xS4B"/ 当线性偏振高斯光束经高数值孔径(NA)非球面透镜聚焦时,由于矢量效应,焦平面上的PSF呈现非对称性。 NaR/IsN8% _x.<Zc\x
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