1.
摘要 M*|x,K= U 0m!+gZ@ 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
$`mxOcBmQ %6L{Z *( G;MmD?VJ g =j6f/8 2. 建模任务
.#@*)1A#t tAefBFu 8e x{N3 6Wl+5
a6V 3. 干涉条纹的变化
`|[Q]+Mx *zJ}=%)f \IIR2Xf,K >k5nU^|B1 4. 走进VirtualLab Fusion
Ap=LlZ `J#(ffo- 2/3,%5j_ ,,OO2EgZ` 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
O)n"a\LD ,dP-sD;< >:WnCkbp Hz `aj 6. VirtualLab Fusion 技术
'(r/@%=U wknX\,`Q