1.
摘要 hDq`Z$_+KX .K<Q& 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
{$Gd2gO 9
5RBO4w%w g|Fn7]G FjI`uP 2. 建模任务
(NnH:J` CC^'@~)? ;{o|9x| BIWWMg 3. 干涉条纹的变化
ohGfp9H Ezv
Y"T@ {s{j~M QZ%`/\(!8_ 4. 走进VirtualLab Fusion
D+7Rz_= `%Al>u5 Sa`Xf\ ?#YE`] 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
{Fe[:\ ^Zy%fv, Y]u+\y~ fLm*1S|%\ 6. VirtualLab Fusion 技术
M>8A\;" )M//l1