[技术]白光迈克尔逊干涉仪 [复制链接]

1.摘要 )OlYz!#?  
)5<dmK@  
白光干涉仪是一种非接触测量技术，用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性，结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 |CS&H2!s  
   nu|?F\o!  

图片:1-191204120226228.png

rhQO#_`  
La^Zr,T!  
2. 建模任务 2<2a3'pG  
hg+;!|ha  

图片:1-19120412030c28.png

jNIz:_c-~  
   i-k(/
Y0  
3. 干涉条纹的变化 k'[\r>T  
<(qdxdUp  

图片:1-191204120352336.png

1-!|_<EW1  
dt>!=<|k  
4. 走进VirtualLab Fusion wDh&S{N  
3fop.%(  

图片:1-1912041204141I.png

@:9mTP7  
   KA`)dMWL  
5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 .= 8Es#  
h!hv{c  

• 输入场设置

• 基本光源模型[视频教程]

• 定义元件的位置和方向

• 光路图II：位置和方向[视频教程]

• 正确设置非序列追迹通道

• 非序列追迹的通道设置[使用案例]

• 使用“参数运行”检查影响/变化

• “参数运行文件”的使用[使用案例]

图片:1-191204120454308.png

z8};(I>)  
>R/^[(
[;]  
6. VirtualLab Fusion 技术 B)-P#,}  
1@<>GDB9  

图片:1-19120412051Q53.png