1.
摘要 a%MzNH so?pA@O 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
S{^6iR XI@6a9Uk 3r~>~ueZ 1EC -e|M. 2. 建模任务
Qm35{^p+ pIID=8RJ. SZim>@R g{g`YvLu^ 3. 干涉条纹的变化
p|FlWR'mA 95.qAFB1 7gVh!rm iXUWIgr 4. 走进VirtualLab Fusion
g:3d<CS P[Y{LKAbb ?
-v VZT6;1TD$8 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
m%e^&N#%6r 3o+KP[A ULp)T`P d'N(w7-Y 6. VirtualLab Fusion 技术
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