摘要
<X ~P62< /YT _~q=: 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
_ 2E* 0m
7_#g4$L 
]@9ZUtU,;N x4%1P w 建模任务
;kb);iT vG'I|OWg SVJt= M 仿真干涉条纹
R gTrj q>Kzl/~c.P c- q=Ct 走进VirtualLab Fusion
$,
@,(M`i} #[ ?E, 
I c')L*i7O ?:+sjHzXT VirtualLab Fusion中的工作流程
c= #V*< c@Q&i •设置输入场
;?. w!|6 −基本光源
模型[教程视频]
-0f ,qNF •使用导入的数据自定义表面轮廓
3*!w c.= •定义元件的位置和方向
-cP7`.a − LPD II：位置和方向[教程视频]
^SC2k LI •正确设置通道以进行非
序列追迹
r%412 # −非序列追迹的通道设置[用例]
\ _l4li •使用
参数运行检查影响/变化
@e:=
D −参数运行文档的使用[用例]
+
[ ~)a 4# ~Y 3X* 
/wT<p GvI8W)d3,R VirtualLab Fusion技术
= :;K nS WO!'( "
