摘要
PX:#+bq1 q m3\)9C 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
3I6ocj[, BU`X_Z1)
':*H#}Br-# ;%e&6 建模任务
&g`IRz n]%-2`}( 0At0`Q# 仿真干涉条纹
c*bvZC^6 XT7m3M !T6R[ 走进VirtualLab Fusion
oPe|Gfv\G 9LR=>@Z
PR:k--)D s68(jYC7[ VirtualLab Fusion中的工作流程
N\{"&e #]` uH{ •设置输入场
u]p21)m$x −基本光源
模型[教程视频]
,i>`Urd •使用导入的数据自定义表面轮廓
K<S3gb?0 •定义元件的位置和方向
rH@Rh}#yp − LPD II:位置和方向[教程视频]
\Kl20? •正确设置通道以进行非
序列追迹
e3I""D{)[= −非序列追迹的通道设置[用例]
C}huU •使用
参数运行检查影响/变化
rXx#<7` −参数运行文档的使用[用例]
;!n> H:fKv7XL
x,B] J4 [WwoGg*)mn VirtualLab Fusion技术
o[Iu9.zJpy ww2mL
<B