[技术]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

摘要 "v3u$-xN1  
I$wP`gQh
 
扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 [*>@hx  
{+t'XkA  

图片:1-191209152110491.png

*qBMt[a  
6<t\KMd  
建模任务 T+4Musu{V  
4!gyFi6$  
 D#m+w  
仿真干涉条纹 {YbqB6zaM  
,?#-1uIGL>  
m9xu$z|e  
走进VirtualLab Fusion 9au)K!hN  
Qw5M\   

图片:1-191209152K5539.png

bt&vik _  
6U+#ADo  
VirtualLab Fusion中的工作流程 v @N8v  
ypd  
•设置输入场 SKfv.9  
−基本光源模型[教程视频] IB*%PMTF  
•使用导入的数据自定义表面轮廓 Y9w=[[1  
•定义元件的位置和方向  BW\R  
− LPD II：位置和方向[教程视频] uV 6f~cQ  
•正确设置通道以进行非序列追迹 Z21XlbK  
−非序列追迹的通道设置[用例] E>6zwp  
•使用参数运行检查影响/变化 v*BA\&  
−参数运行文档的使用[用例] nC&rQQFF  
mc$
c!Ax*  

图片:1-191209152Tb56.png

Y]gt86  
}5]s+m  
VirtualLab Fusion技术 $z,bA*j9  
|XH3$;=*h