摘要
c&?m>2^6 (!7sE9rP 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
H.|#c^I 7yH"l9Z "R1NG?;q /hH 建模任务
)D5"ap]fX [")o.( 5z8d}
I 仿真干涉条纹
Fg5kX .B]MpmpK vkx7paY_ 走进VirtualLab Fusion
$=8
NED5 *K6g\f]b # ]7F=u!/`<C 2~1SQ.Q<RY VirtualLab Fusion中的工作流程
+_?hK{Ib" 0y" $MC v •设置输入场
FxtQXu-g −基本光源
模型[教程视频]
r6MMCJ|G •使用导入的数据自定义表面轮廓
G%AbC" •定义元件的位置和方向
Yz/md1T$ − LPD II:位置和方向[教程视频]
\K{0L •正确设置通道以进行非
序列追迹
UXc-k −非序列追迹的通道设置[用例]
ug!s7fo^ •使用
参数运行检查影响/变化
7$vYo
_ −参数运行文档的使用[用例]
Pw7]r<Q nQX:T;WL@ LqoB 10Kc\ 6Z6'}BDP VirtualLab Fusion技术
pMx*F@&nU j9x<Y]