摘要
~v83pu1!2s V+~Nalm O 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
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j7 >Se,;cB'/] 建模任务
<1%$Vq `-&K~^-cH " Jr-J#gg 仿真干涉条纹
^t"'rD-I uGt-l4 - YV>j 走进VirtualLab Fusion
ETLD$=iS c(%|: P^ B?qjkP {iLT/i% VirtualLab Fusion中的工作流程
9/;P->wy +"6`q;p3) •设置输入场
qFNes)_r −基本光源
模型[教程视频]
N&pCx& •使用导入的数据自定义表面轮廓
03(4 x'z •定义元件的位置和方向
+MLVbK − LPD II:位置和方向[教程视频]
:aQt;C6Z> •正确设置通道以进行非
序列追迹
m`_ONm'T& −非序列追迹的通道设置[用例]
UDni]P!E •使用
参数运行检查影响/变化
*,m; −参数运行文档的使用[用例]
ERt{H3eCcJ E!#WnSpnK ^H'\"9;7 h}EPnC} VirtualLab Fusion技术
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