摘要
%pImCpMR 5g;i{T/6~x 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
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]F*fQ Ncjy a}/ A]mu 建模任务
o",J { ps3jw*QZ{5 PFPZ]XI%F 仿真干涉条纹
WBY_%RTx z[0 B"f C7 T}:V](q 走进VirtualLab Fusion
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'o]8UD( !juh}q&}| VirtualLab Fusion中的工作流程
~~X-$rtU ])NQzgS •设置输入场
q2~@z-q)b −基本光源
模型[教程视频]
N)^`
15w •使用导入的数据自定义表面轮廓
' yR)z\) •定义元件的位置和方向
Ud'/
9:P − LPD II：位置和方向[教程视频]
)lrmP(C*.a •正确设置通道以进行非
序列追迹
&'<e9 −非序列追迹的通道设置[用例]
LF\HmKM, •使用
参数运行检查影响/变化
6$A>%Jtwe −参数运行文档的使用[用例]
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0;2"X [e 4Bz:n VirtualLab Fusion技术
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