[技术]二元光栅设计流程 [复制链接]

具有直壁或倾斜侧壁的二元光栅已成为许多光学应用中的关键部件。 感谢纳米压印技术，使小尺寸的光栅的制造已经变得可行。 VirtualLab Fusion采用内置的傅里叶模态方法（FMM，也称为RCWA）和不同的优化算法，为二元光栅提供了完整的用户友好的设计工作流程，和随后的制造误差分析，如圆边效应。 y!|4]/G]?t  
u_b6u@r7  
高效偏振无关透射光栅的分析与设计 |lyspD  
shiw;.vR{B  
cs4IO O$  
我们演示了如何严格分析二元光栅的偏振相关特性; 以及如何优化二元结构以获得高偏振无关的衍射效率。 6B}V{2  
uX6rCokr  
倾斜光栅的参数优化与公差分析 aFL<(,~r  
V|<'o<h8  
&M=15 uCK  
利用傅立叶模态法（FMM）优化倾斜光栅，以实现将光耦合到波导中的高衍射效率。 分析制造公差，如圆形边缘。