摘要
<MyT ; HcQ)XJPK 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
Sby(?yg $%6.lQ .% 79(r^ {)n@Rq\=v 设计任务
X #>:9 M?_7*o]! 5AK@e|G$w
^o87qr0g] 1级
参数优化
YTD&swk ~p`[z~| wq7h8Z}l "Q`Le{ 结果-容差分析
n-u
HKBq
O2:1aG 2YQ;Kh"S
`>- 56 % 结果-容差分析
PjP6^" Y?6}r;< jcp6-XM 6j Rewj VirtualLab Fusion一瞥
if?X^j0 PA*1]i#2M= -(},%!-_ R"yxpw VirtualLab Fusion中的工作流程
Px3I+VP 2fgYcQ8` 构建光栅结构
;\(LovUy6 −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
. H}R}^ −倾斜光栅高级设定[用例]
29^(weT"] •光栅衍射效率分析
Zu*7t<W −光栅阶序分析器[用例]
]XASim:A •使用参数优化进行光栅参数优化
R7 rO7M! •使用参数运行的容差分析
KF6N P xn>N/+, fRb o:B?hr'\ VirtualLab Fusion技术
6!HYx 82 dmlPwJC