[技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

摘要 nz72w_  
~H[  
对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 rToZN!q\S  
pmm?Fq!s=  

图片:1-19110G51512293.png

E5a1 7ra  
AJk0jh\.j%  
设计任务 CqMm'6;$a}  
s@USJ4#  

图片:1-19110G51541c6.png

~U] "
dbQ  
1 &24:&  
1级参数优化 >FO4]  
_lWC)bv
`  

图片:1-19110G516302b.png

cE{hy7cH  
Y ^s_v_s  
结果-容差分析 ^/nj2"  
81m3j`b  

图片:1-19110G51HWc.png

gZa/?[+  
F32N e6Y6"  
结果-容差分析 @J`o pR  
RCXm</  

图片:1-19110G51K2c1.png

DtXQLL*fl(  
#BB,6E   
VirtualLab Fusion一瞥 m:kXr^!D  
?hqHTH:PU  

图片:1-19110G51Q9D8.png

kEQ1&9  
AYhWeI+  
VirtualLab Fusion中的工作流程 #w%d  
3Go/5X/  
构建光栅结构 =mVWfFL  
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] pbfIO47ZC  
−倾斜光栅高级设定[用例] C5}c?=#bdf  
•光栅衍射效率分析 d:Y!!LV-@L  
−光栅阶序分析器[用例] gMN>`Z`fV  
•使用参数优化进行光栅参数优化 yyp0G
V.x  
•使用参数运行的容差分析 #'poDX?  
4Zz%vY  

图片:1-19110G51933119.png

u/wWP4'$J@  
$Hw w  
VirtualLab Fusion技术 [/h3HyZ.  
QO1pwrX<  

图片:1-19110G52045463.png