摘要
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^T:u 对于许多应用来说（例如背光、
光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的
衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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w>&*-}XX -{xk&EB^$5 设计任务
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>Q\Kc=Q| TQF+aP8[L 1级
参数优化
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'j6O2=1 tTLg;YjN 结果-容差分析
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bx8](cT_ TJO$r6& 结果-容差分析
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27e!KG[& N7+L@CC6T VirtualLab Fusion一瞥
o e U i _F;v3|`D@< 
s{Z)<n03 ' rcqy1-& VirtualLab Fusion中的工作流程
Fz%;_%j X g6ezlW 构建光栅结构
(jM0YtrD −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
aixX/se −倾斜光栅高级设定[用例]
Xo34~V@( •光栅衍射效率分析
T }}2J/sj −光栅阶序分析器[用例]
qz-QVY , •使用参数优化进行光栅参数优化
N T`S)P*? •使用参数运行的容差分析
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SFm& VirtualLab Fusion技术
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