摘要
i4Da 'Uk Fe L !%z 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
fD3>g{ adY ,Nz {Ri6975 jI/#NCKE 设计任务
C[R|@9NI M.qE$ fL(_V/p^ w5<&b1: 1级
参数优化
&0x;60b 4OOI$J$Jh ^Ycn&`s ?G>E[!8ev 结果-容差分析
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R 结果-容差分析
K?@x'q1 pnpf/T{xpM lw`$(, _a\$uVZ VirtualLab Fusion一瞥
d1}cXSQ1T |-9##0H ?>Bt|[p:s) /lLG|aAe VirtualLab Fusion中的工作流程
~Dbu;cqR@ ;>CM1 构建光栅结构
jO.c>C[? −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
m$`4.>J −倾斜光栅高级设定[用例]
$C
t(M) •光栅衍射效率分析
ra
F+Bt` −光栅阶序分析器[用例]
6m0-he~ •使用参数优化进行光栅参数优化
eIcIl2 •使用参数运行的容差分析
=AP0{ F;ELsg R[W'LRh~:1 :DJL kMP VirtualLab Fusion技术
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