摘要
N4!`iS Y t;&XIG~ 对于许多应用来说（例如背光、
光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的
衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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Sjpx G@k *U?O4E9 设计任务
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:]^e-p!z X*8y"~X|vq 1级
参数优化
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0y "F< CGSo 结果-容差分析
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)O]T}eI Hcq.Lq;2: 结果-容差分析
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<B"sp r&1 a|aVc'j VirtualLab Fusion一瞥
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p*Bty@CRi RU )35oEV| VirtualLab Fusion中的工作流程
]b/]^1-(b NR{wq|" 构建光栅结构
C$ 3*[ −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
^u /%zL −倾斜光栅高级设定[用例]
|y\Km •光栅衍射效率分析
yVd^A2
−光栅阶序分析器[用例]
%\As •使用参数优化进行光栅参数优化
pm&TH d •使用参数运行的容差分析
]rmBM OW:*qY c;: 
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?V`|[+u VirtualLab Fusion技术
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