摘要
2rzOh},RS HITw{RPrW 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
[osIQ!u;: V:YN! sf7~hN*
PUU
"k:{ 设计任务
Ht{Q=w/9 B4l*]K% Q+i zp4aiMn1F 1级
参数优化
aa-{,X"MF 5]c\{G 88]4GVi t)p . $ 结果-容差分析
fRt`]o:Om {E 'go] ZyJ-}[z t7P[^f15[ 结果-容差分析
w%3*T#tp pHftz-RS! U8>M`e"D 1ZrJ7a7= VirtualLab Fusion一瞥
i".nnAI: ;ndwVZ~, (m~gG|n4 j#f7-nHyz8 VirtualLab Fusion中的工作流程
u)hr mw!EDJ;' 构建光栅结构
rL KwuZ −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
a,/wqX −倾斜光栅高级设定[用例]
2[V9`r8* •光栅衍射效率分析
dlf nhf −光栅阶序分析器[用例]
*7JsmN? •使用参数优化进行光栅参数优化
j,Vir"-) •使用参数运行的容差分析
xQ]^wT.Q SK]"JSY` #}lq2!f6 o4U[;.?c VirtualLab Fusion技术
5ns.||%k |eu:qn8