1.摘要
b;d7mh4 $xdo=4;| 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
p7Zeudmj Ws1|idAT
p>\[[Md <*z'sUh+} 2. 建模任务
QxaMe8( v;G/8>GRy
?lgE9I] 4[gbRn' 3. 干涉条纹的变化
#o[n. UJDI[`2
0sKoNzE Q?LzL(OioN 4. 走进VirtualLab Fusion
U&:-Vf~& COm^ti-p
[tSv{
j DEym&- 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
RA!m,"RM bv(+$YR
04=RoYMM ## vP(M$ 6. VirtualLab Fusion 技术
z1,#ma}. S1)g\Lv