1.摘要
hc+B+-, <R;wa@a> 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
DU$#tg}{ <n 06(9BF
ooUVVp lZ.lf.{F 2. 建模任务
7U_ob"`JV *d;TpwUI
l>b'b e9 %),u0:go 3. 干涉条纹的变化
Vub6wb<G[
9\<q=p~
Q,^/Lm|]k [}j a\!P 4. 走进VirtualLab Fusion
(lVMy\ 77yYdil^W+
NytTyk) _<FUS'" 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
jhQoBC>: zMu9A|
~{tO8
] ){w{# 6. VirtualLab Fusion 技术
#jrlNg4( v9-4yZU^WR