1.摘要
m ~fqZK p|(910OEQ 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
/:ma}qGy "! p#8jR^ "Z&qOQg%3 x:xKlPGd 2. 建模任务
W$:;MY>0f *S~. KW [ "!E(=W? ~M(K{6R 3. 干涉条纹的变化
LP@Q8{' DG7FG-- [ueT]% o[+1O 4. 走进VirtualLab Fusion
=c-j4xna> ?.\CUVK lk6mu FxM`$n~K 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
(LL4V
3) `9a%}PVQ- w gATfygr K+ ufcct 6. VirtualLab Fusion 技术
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