1.摘要
S3/Z]?o *>Zq79TG 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
sVIw'W <$'FTv
!2]G.|5/A _d3/="= 2. 建模任务
`"E<%$|ZQy }Q>??~mVl
X57\sggK 8~h.i1L 3. 干涉条纹的变化
)G9,5[ :WN*wd
[Q20c<, c<g{&YJ 4. 走进VirtualLab Fusion
pS)/yMlVj q%}54E80
~FZ=
?-PW$p 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
3sBu`R*hk EWoGdH|
?bK^IHh lA7\c# 6. VirtualLab Fusion 技术
r}])V[V e@crM'R7Lo