1.摘要
9 R1]2U$| Qw+"> 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
#(G&%I A|; vhW'2<( fq'Of
wT !h~\YE) 2. 建模任务
jrR~V* :k R
_%pR_\ 3lqhjA ?u|g2!{_ 3. 干涉条纹的变化
f]ef 1# 7+bzCDKU #SmWF|/ OWzIea@ 4. 走进VirtualLab Fusion
OZD/t(4?6s lAQ&PPQ kaLRI|hC ]n_A~Yr 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
$Z4p$o
dk qJsEKuOs A
[JV*Dt iGIaZ!j aW 6. VirtualLab Fusion 技术
"Q( 8FF ,&$Y2+