摘要
C?eH]hkZ3 S)@j6(HC4 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
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\dah^mw" nBYZ}L q 建模任务
O:K2Y5R?B 0o&5 ]lEe Qo|\-y-# 仿真干涉条纹
>XfbP] 'm$L Ij?@ H<+T R6k< 走进VirtualLab Fusion
vnuN6M{ U 6)#}
dSHDWu& 5Gm_\kd VirtualLab Fusion中的工作流程
1?l1:}^ L ZbKg~jdF •设置输入场
]7A'7p $Y −基本光源
模型[教程视频]
<N~K ;n
v •使用导入的数据自定义表面轮廓
;!Fn1|) •定义元件的位置和方向
5|)W. *Q − LPD II：位置和方向[教程视频]
=Dj#gV •正确设置通道以进行非
序列追迹
%8v\FS −非序列追迹的通道设置[用例]
6_B] MN!( •使用
参数运行检查影响/变化
B%68\ −参数运行文档的使用[用例]
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Zv {'MIv&v Wx#;E9=Im VirtualLab Fusion技术
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