摘要
V.=lGhi P@0Y ./Ds 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
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I7(?;MpI 38IMxd9v 建模任务
jc:s` 4 R_N:#K.M QDTNx!WL 仿真干涉条纹
vmX"+sHz$] Y)|N"f; pqR\>d 0 走进VirtualLab Fusion
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3=YD* VirtualLab Fusion中的工作流程
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$ •设置输入场
k'3Wt*i −基本光源
模型[教程视频]
Z?G&.# : •使用导入的数据自定义表面轮廓
=L ]Q2V} •定义元件的位置和方向
GJA`l8`SQ − LPD II：位置和方向[教程视频]
I#rubAl •正确设置通道以进行非
序列追迹
'0Q , −非序列追迹的通道设置[用例]
iG<Som •使用
参数运行检查影响/变化
&
,hr8 −参数运行文档的使用[用例]
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E}mX]t VirtualLab Fusion技术
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