摘要
BlvNBB1^ $/uNV1]o 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
J"dp?i BA+:}81&<q )gAFz+ :j m|) 建模任务
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,,A% QU{\ClW/? 仿真干涉条纹
xuDn: AFcA5:ja TAu*lL(F 走进VirtualLab Fusion
.DkDMg1US 4c_F>Jw[ _\Cd. |fk,&5s VirtualLab Fusion中的工作流程
<.<Q.z >MIp r •设置输入场
d#eHX|+ −基本光源
模型[教程视频]
!OJSQB, •使用导入的数据自定义表面轮廓
K!9rH>`\ •定义元件的位置和方向
Z0 e+CEzq − LPD II:位置和方向[教程视频]
*X^__PS] •正确设置通道以进行非
序列追迹
TIa`cU` −非序列追迹的通道设置[用例]
f-tV8 •使用
参数运行检查影响/变化
sE8.,\ −参数运行文档的使用[用例]
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8 nA]dQ+5sT VirtualLab Fusion技术
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