摘要
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干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
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建模任务
z#/*LP#oY |0mI3r #{1fb%L{i 仿真干涉条纹
z5/O8}Gz@ CxV%/ChJ# 9m!fW|4 走进VirtualLab Fusion
{D#`+uw B:.rp.1 
s9>!^MzBK VV0$L=mo VirtualLab Fusion中的工作流程
:Yqa[._AF 7L "/4w •设置输入场
eW%jDsC −基本光源
模型[教程视频]
vS#]RW&j •使用导入的数据自定义表面轮廓
5K<C •定义元件的位置和方向
X; tk\Ixd − LPD II：位置和方向[教程视频]
_{%H*PxTn= •正确设置通道以进行非
序列追迹
K(2s % −非序列追迹的通道设置[用例]
- %|I •使用
参数运行检查影响/变化
RwWQ$Eb_s −参数运行文档的使用[用例]
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AtI,& S#{ . VT,,0 VirtualLab Fusion技术
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