[技术]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

摘要 m(*rMO>_  
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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 D:f=Z?L)>  
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建模任务 Q;g7<w17  
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仿真干涉条纹 _+'!l'`  
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走进VirtualLab Fusion 3%5a&b  
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VirtualLab Fusion中的工作流程 [ 'lu;1-,  
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•设置输入场 HE%
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−基本光源模型[教程视频] xcU!bDV  
•使用导入的数据自定义表面轮廓 ?5J#  
•定义元件的位置和方向 JE7m5kTa  
− LPD II：位置和方向[教程视频] 6{Q-]LOc[.  
•正确设置通道以进行非序列追迹 .<F46?HS  
−非序列追迹的通道设置[用例] j~G(7t  
•使用参数运行检查影响/变化 dpw-a4o}  
−参数运行文档的使用[用例] Cj<8r S4+  
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VirtualLab Fusion技术 _eOC,J<-~  
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