摘要
AH*{Bi[vX UNx|+ 斐索
干涉仪是工业中常见的
光学计量设备,它们通常用于光学表面质量的高
精度测试。 借助
VirtualLab Fusion中的非顺序追迹,我们构建了一个菲索干涉仪,并利用它测试了不同的光学表面,例如圆柱形和球形。 可以看出,产生的干涉条纹对表面轮廓具有敏感性。
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\*>r[6]*&5 R$[nYw 建模任务
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x3./ U)v['5% 倾斜平面下的观测条纹
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j=raS |r5e#3w 圆柱面下的观测条纹
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F0yvV6; M:%6$`` 球面下的观测条纹
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[uJfmr EH ]lX`[HX7 VirtualLab Fusion 技术
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