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摘要 ' "o2;J)7 2NWQiSz
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A6 = !MD uj 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 O['5/:- zWq&HBs 建模任务 *> 7Zc RjG=RfB'V
fzjZiBK@ 1(m[L=H5> 由于组件倾斜引起的干涉条纹 {'q(a4 [7=?I.\Cr7
~&Y%yN^ d?1[xv; 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 ;cW9NS3: qM0Df0$?x
JCZ 5q9b PRyzUG& 文件信息 vI+X9C? "A3V(~%!
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