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摘要 Q68&CO(rE :v* _Ay IW
Lv$bPZ/ )|XmF4R 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 ^%)'wDK p;"pTGoWi 建模任务 ya5;C" ch 4z{7 Jq l#z/z s59v*
/ 由于组件倾斜引起的干涉条纹 d@b"tb}R gPT-zul & *B@qQ a/NmM) 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 &AU%3b XGFU *g`kq zM|d9TS (NFq/w% 文件信息 s!9.o_k aM9^V MOb 7;5?2)+=6
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