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摘要 j3VM!/ |v8 >22y
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U KF/v 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 ={b/s31H: N{`-&8q;K 建模任务 +&tY&dQQB /`0*!sN*5
P"_x/C(]@J ;u,%an<( 由于组件倾斜引起的干涉条纹 Z;XR%n8 =2bW"gs
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