摘要 :i<*~0r< "Wj{+|f 共聚焦扫描
显微镜在 1950 年代由 M. L. Minsky 发明并获得
专利,后来又以采用
激光作为
光源的新颖性获得了广泛的应用。 通过使用空间针孔来阻挡从焦平面外散射或反射的光,有助于提高纵向
分辨率和对比度。 在本例中,我们在
VirtualLab Fusion 中构建了一个共聚焦扫描显微镜,并使用具有交替脊和凹槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
!5 }}mf hVF^"$ 建模任务 7FE36Ub9 i"<W6 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,它如何检测物体横向位移导致的
功率变化?
8._uwA<[ a^%)6E.[, 焦点区域的探测场 J1G}l5N
t1hQ0 B pT|s#-} 测试对象的直接反射 6.)ug7aF O(/~cQ >=0]7k; 测试对象的直接反射 5?^#v >Hnm.?-AWl +mWf$+w 测试对象的像 4:/V|E\D ;}E}N:A F1.Xk1y% 测试对象的像 V*@aE JN/=x2n. -~]H5er` 功率测量与测试对象的横向偏移 G?}?>O