摘要 &9, 6<bToP &!2
4l=! 共聚焦扫描
显微镜在 1950 年代由 M. L. Minsky 发明并获得
专利,后来又以采用
激光作为
光源的新颖性获得了广泛的应用。 通过使用空间针孔来阻挡从焦平面外散射或反射的光,有助于提高纵向
分辨率和对比度。 在本例中,我们在
VirtualLab Fusion 中构建了一个共聚焦扫描显微镜,并使用具有交替脊和凹槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
\A*#a9" >e($T!}Z 建模任务 ^O6P Zm5J} 25t2tj@S 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,它如何检测物体横向位移导致的
功率变化?
PbJn8o K SDo)7` 焦点区域的探测场 {tk42}8k 3%|LMX]M5_ U
PGS 测试对象的直接反射 D@!`b6 lE`hC#m zIf/j k 测试对象的直接反射 H5S>|"`e`e NcZ6!wWdE ~ULuX"n 测试对象的像 qS*qHT(u19 HtgVD~[] [53rSr 测试对象的像 73A1+2 0yfmQ=,X _' Xt 功率测量与测试对象的横向偏移
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