摘要 5e~{7{ gC,0+Y~ 共聚焦扫描
显微镜在 1950 年代由 M. L. Minsky 发明并获得
专利,后来又以采用
激光作为
光源的新颖性获得了广泛的应用。 通过使用空间针孔来阻挡从焦平面外散射或反射的光,有助于提高纵向
分辨率和对比度。 在本例中,我们在
VirtualLab Fusion 中构建了一个共聚焦扫描显微镜,并使用具有交替脊和凹槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
MlcoOi! a_#eGe> 建模任务 &&QDEDszp Af!
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K= 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,它如何检测物体横向位移导致的
功率变化?
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mx MM58w3Mz 焦点区域的探测场 80l3.z,: s'fcAh,c6 `- uZv 测试对象的直接反射 :8GxcqvCWq e[VJ0 A= :O@,Z_" 测试对象的直接反射 Q/9vDv 3Jk?)Dy >=q!!'$: 测试对象的像 `X]2iz iTBhLg, 4@V <Suw 测试对象的像 YaE['a GT`<jzAi Q 7_d#XKz@ 功率测量与测试对象的横向偏移 Pt)}HF|u