压力传感器的重要传感元件是法布利-比洛特(FP)型光学干涉仪。干涉仪的两面镜子分别是位于一端的薄膜内表面和位于另一端的光纤尖端。所施加的压力P 引起了薄膜的偏移,而此偏移又直接转换成了FP 干涉仪空腔长度的变化。 I-b_h5ZD6
"S5S|dBc
为得到薄膜偏移和所施加的压力间的线性关系,传感器的形状和材料都经严格选择。其系可表示为: yu)q4C7ek
Sd},_Kh
Lcav(P) = L0 + (P-P0S)…………………………(1) CI`N8
f=v
gH %y
其中P是施加到薄膜外表面上的压力(单位psi) /XcDYMKgh
P0是FP空腔内的压力(单位psi) GCT@o!
Lcav是由信号解调器所测得的空腔长度(单位nm) v"Me {+
L0是处于零点初始状态的空腔长度(单位nm),通常定义为P =P0 b"``D ?
S 是传感器的灵敏度(单位nm) E\0X`QeY
N{8"s&