最近看到很多镀膜机台上,多点水晶底座上的电极(水晶三爪弹片连接的那个圆柱体)材质是黄铜的。 ~R cd
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我以前接受到的知识:为了避免切换水晶时打火放电,水晶电极都必须使用铍铜(铍铜有抗火花的特性)。 \6Ze H
特别是使用离子源的设备(离子源易让水晶片带电)。 E `)p,{T
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我这边有个客户以前设备镀膜有偶发的不稳定(膜厚,镀膜时间,真空度,电流这些数据上都没问题,但是光谱变了) v) q6
然后一个月前更换了铍铜的水晶头后,好像没问题了。 v}]x>f
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不知道各位是否有这样的经验。 <P5;8
我这边有点疑惑,哪怕打火造成不稳定,也只是切换水晶的那一瞬间。 .>?["e #,
镀膜时并不切换水晶片,怎么会造成不稳定?是否有其他因素?