摘要
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i'T= 分析特定
衍射级的衍射效率是
光栅结构的典型建模任务。由于特征尺寸和周期较小,与使用的光
波长相当,因此必须通过严格的方法计算效率。众所周知的FMM或RCWA是解决此任务的一种常用算法,在VirtualLab Fusion中也可用。这种全矢量方法的结果是复数瑞利系数,它包含每阶所需的所有场信息,从中可以获得相应的效率。VirtualLab Fusion中的光栅顺序分析器帮助我们生成并以图像方式显示复杂光栅结构(一维/二维周期)的所有信息。
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Z E},xU% |z.Z='` 光栅规格
ZG-[Gz "@+r|x •为了演示光栅阶数分析器,使用了具有正弦光栅形状的一维光栅以及多层光栅。
@ u2P&|:{ •操作中的层,提供高反射(HR)功能。
?h|w7/9 •光栅
参数在堆栈中设定,其通过光栅组件的编辑对话框中完成。
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