摘要 \ %MsG 1 \aTA, zv;xxAX 对于许多
光学应用来说，抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
纳米和微米
结构，这些结构受到自然界（如蛾眼）的启发。这些结构的特征尺寸处于亚
波长领域，具有独特的波长和
角度依赖性质。本文介绍了在
VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。
:06.b:_ `[}X_d 1A 设计任务 ^LB] Z'!ORn#M S|@/"?DC 连接建模技术：蛾眼结构 U~?mW,iRL 3>MILEY ^ xb0,dZb 光栅阶数分析器 KDP4 7A /5L\:eX% <Ist^ h+o 元件内场分析器：FMM ae@! M -Edy ~;_ (5th 参数运行 /)K;XtcN ]63!
W c Rcw[`q3/ 参数优化 HRM-r~2:-] -Hw3rv3o m0h,! 模拟结果 A:Gd F-;[ : WQlpL n 通过计算器进行参考测量 J#i7'9g 8>x' . 8 Kj3Gm>B<y 结构内的场 emrA!<w!W "sDs[Lcq QE) zH)(
~$[fG}C.K 在参数空间中扫描以获取初始解决方案 qAbmQ{|w +O9x8OPHW GGcODjY> 初始解决方案 #1 的参数优化 SRk!HuXh &^HVuYa.0 f$-n %7 最终设计 #1 的性能分析 NR
k~ <BZC5b6 初始解决方案 #2 的参数优化 x@bqPZ t _JNYvng m cRbA+0m> 最终设计 #2 的性能分析 n4+q7
