摘要 Mj{w/ ' /w1M%10 $J^fp XO 对于许多
光学应用来说，抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
纳米和微米
结构，这些结构受到自然界（如蛾眼）的启发。这些结构的特征尺寸处于亚
波长领域，具有独特的波长和
角度依赖性质。本文介绍了在
VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。
#R >x]Nt} j^7A }fz 设计任务 9 QaE)wt O%3Hp.|! vK% *5 连接建模技术：蛾眼结构 "M, 1ElQ !> =ybRe [~u&#!*W 光栅阶数分析器 ruQt0q,W3% Cs _& BSs ?!K6")SE 元件内场分析器：FMM D<m0G]Ht* 4-t^?T: qF j.ucv 参数运行 hL bWqF )S
7+y6f&* c:.~%AJx 参数优化 b8e\( Dww lH; V9D^ F#>00b{Q 模拟结果 PJcfiRa'jQ 1$8@CT^m 通过计算器进行参考测量 <:V~_j6P0 f4fBUZ^ A Lo~ ;pv v 结构内的场 fz\Q>u'T h~m,0nGO b,^Gj]7 IH;sVT $M 在参数空间中扫描以获取初始解决方案 Km;}xke6 r| =1{N x _0jR({\ 初始解决方案 #1 的参数优化 m/1FVC@*
v&|65[< 8ix_<$% 最终设计 #1 的性能分析 B
ytx.[zbX a8f#q]TyQ 初始解决方案 #2 的参数优化 >Jml a~A 1!KROes4 \4L ur 最终设计 #2 的性能分析 HMCLJ/
