摘要 S),acc(d e6' y S81 AUm5$;o,/ 对于许多
光学应用来说，抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
纳米和微米
结构，这些结构受到自然界（如蛾眼）的启发。这些结构的特征尺寸处于亚
波长领域，具有独特的波长和
角度依赖性质。本文介绍了在
VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。
GaOM|F'> U j)`(}r 设计任务 ^r
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-j}zr yG- 连接建模技术：蛾眼结构 AKUmh k4~2hD<| <L<d_ 光栅阶数分析器 J4m2|H K z CFX Qi 67P@YL 元件内场分析器：FMM S, qEKWyLd Uizg.<. ^qNr<Ye 参数运行 te#Wv9x ]9$^=z%SE T5+9# 参数优化 /9@ VnM ;0:[X+"( X32{y973hT 模拟结果 U~Rs?JmTdD C.?~D*Q 通过计算器进行参考测量 '0jn|9l58 t'bhA2 0Z\ *f3? 0w 结构内的场 m Bg$eiGTB ;a~
e lw_PQ4Hp sH+ 90|? 在参数空间中扫描以获取初始解决方案 zIbrw9G X~ g9TUv8 R
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# 初始解决方案 #1 的参数优化 9%^O-8! cP >[H:\Xc CjUYwAy$k 最终设计 #1 的性能分析 s7 3' h Zd8`95 初始解决方案 #2 的参数优化 . MH;u3U _.^`DP > j4}Q 最终设计 #2 的性能分析 H[U"eS."
