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4*L* "vKa /M'd$k"0z 元件内部场分析器：FMM允许用户可视化和研究微
结构和
纳米结构内部的电磁场分布。为此，使用傅立叶模态法/严格耦合波分析（FMM/RCWA）计算周期性结构（透射或反射、电介质或金属）内部的场。还可以指定场的哪一部分应该可视化：正向模式、反向模式或两者同时显示。
I:HrBhI)wP Dw.I<fns^B 元件内部场分析仪：FMM "h #/b}/ j0j!oj)7I mP=[h
|a$r 元件内部场分析器：FMM是
光栅光学装置的独有功能，可提供光栅结构内部电磁场的可视化。
<W>A }}q &4+|{Zx0 评估模式的选择 [V>s]c<4`o ~o/k?l h@Jg9AM 为了更容易地区分入射场、反射场和透射场，可以仅评估正向或反向传播模式，或者评估两者的总和。
:b*7TJ\grN 6)p8BUft 评价区域的选择 Hq+QsplG e&2,cQRFV 
4lWqQVx :p,|6~b$ 元件内部场分析器：FMM可以输出整个元件（包括基板）内部的场，或者只输出一个堆栈或基块（基板）中的场。
AorY#oq #0vda'q=j 不同光栅结构的场分布 5eE\
X /
W~ 2,J4= 任意形状的光栅结构可以通过元件内部场分析仪进行分析。以下是几个例子：
S0Io$\h a D(;+my2 )bR0 > 3/ 光栅结构的采样 M.6uWwzQR Vfga%K%l F 虽然分析仪为输出数据提供了一些采样选项，但
系统中定义的光栅表面必须正确采样（例如，分解点和过渡点的层数足够）。
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P3]K'*Dyd j7MU A#6$ 分解预览展示了如何根据当前采样因子对光栅结构进行采样。
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* 8ui h=,h Yz?] 光栅结构的充分采样意味着已经实现了收敛，即进一步增加采样不会显著影响产生的场。例如，如果层分解过于粗糙，则可能会由于纵断面中的大台阶而产生其他影响。
4].o:d;`/ BC/5 bA Il9xNVos# 输出数据的采样：一维周期光栅（Lamellar） FZn1$_Svr >Oj $ Dn= w|]Tt=" 对于1D周期性（片状）光栅，分析仪使用对话框“采样”部分中指定的
参数生成2D横截面
图像。
6)ibXbH OdZ/ \_Z 输出数据的采样：二维周期光栅 Xz^k.4 Y{4 -(F} =o' 当分析的光栅设置为2D Periodic时，Field Inside Component Analyzer：FMM将通过结构生成一系列二元截面，z方向的采样参数决定执行的切割次数。
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