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摘要 A",R2d ]3
76F7 当用近轴光照明时,亚波长光栅仅产生一个衍射级,因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题,可以使用非傍轴照明。如在此示例中,采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明,并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程,包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 @DlN;r?Cv D 1(9/;9
=/19 -Y: kQ|phtbI 1. 建模任务 Mr@{3do$ {"_V,HmEF+
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n >n 2. 结果 rfOrh^ Ll`nO;h
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