前言
\ X;)Kt" 微纳
光学是当前光学学科发展最活跃的前沿之一,结合了光子学与纳米技术的前沿成果,主要优点是能在局域电磁相互作用的基础上实现许多全新的功能,成为21世纪不可或缺的关键科学和技术。微纳光学不仅是光学领域的前沿研究方向之一,也是目前新型光电子产业的重要发展方向,在光通信、光互联、光存储、传感成像、传感测量、显示、固体
照明、生物医学、安全、绿色能源等领域起到不可替代的作用。在这些广泛的应用领域可以使用
JCMsuite进行模拟分析与设计,大大降低时间成本和物料成本。
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JCMsuite是基于有限元方法(FEM)的一款纳米光学软件包。使用有限元方法(FEM)计算复杂纳米
光学系统中电磁场分布,为解决科学和技术挑战提供了一种通用、严格且非常快速的方法。JCMsuite可以解决时谐麦克斯韦方程组的光散射问题、波导设计问题和光学共振问题,以及线性弹性问题、热传导问题以及这些类型的任何耦合问题。
_i0,?U2C 通过JCMsuite,用户可以定义各种材料特性,例如复杂和各向异性的材料的介电常数和磁导率张量、分散特性、导热率和刚度。软件依赖基于残差的误差估计,自动选择各种数值设置,例如有限元度和PML(完全匹配层)设置。同时也特别关注光学上所有必要的后期处理和有效计算,例如傅立叶变换、远场、能量通量、重叠积分、光学成像、共振扩展和赛尔因子。
qox@_ 本书详细介绍了JCMsuite各个应用领域的实操案例。本书共十一章,分别介绍了不同应用领域的案例介绍,包含
激光、掩模、散射测量、椭偏仪、光伏发电、表面等离子体、
光纤、光学手性、衍射光学元件以及光子晶体。每个案例都涵盖了建模流程,从材料定义、布局定义、
光源定义到项目定义整个过程,旨在帮助JCMsuite初学者通过案例快速学会软件。本书主要参考JCMwave公司发布的案例翻译整理而成。
HE3x0H}o> 《JCMsuite案例指导书籍》,是由上海讯技光电工程部成员翻译整理而来,译者希望本书能对JCMsuite的使用者有所帮助,通过学习后能较好的掌握JCMsuite软件的基本使用方法。由于译者水平有限,书中错误纰漏之处,敬请同行读者批评和指正。
%X(|Z4dL !^w}Sp 讯技光电科技(有限)公司
It8@Cp.dU 2022年2月 上海
AHTQF#U^ yzJTNLff 目录
L%4Do*V& 1.光源部分—引言 3
PL7_j 1.1垂直腔面发射
激光器 3
vrXNa8,L 1.2高功率二极管激光器 7
lLuAg ds` 1.3量子点发射器 12
C-VkXk 1.3.1微米柱 12
`wLMJ,@f. 1.3.1.1旋转对称发射器 14
5~xv"S(E} 1.3.2微
透镜 18
E XQ3(:& 1.3.2.1耦合至光纤 20
FdmoR; 1.3.3二维模型 22
S{)'1J_0 2.光掩模 23
8MCSU'uQ 2.1衰减相移掩模 24
3HB(rTw 2.1.1降基法 26
uJ%XF*> _D 2.2独立的接触孔 33
x5!lnN,# 2.3 EUV掩模 37
M!]g36h[ 2.4光学成像 42
*7!*kqg!u 3.散射测量 43
G+jcR; s 3.1硅通孔技术 43
o%?~9rf]] 4.椭偏仪 48
)Jd{WC. 4.1 块状材料 48
<,(Ww 5.光伏发电 51
__,}/|K2 5.1 薄膜
太阳能电池 51
+FtL_7[v 5.1.1薄膜太阳能电池一维模型 59
R>`TV(W`9 6.表面等离子体光学 60
!8OUH6{2 6.1孤立的狭缝和凹槽 61
JJE0q5[ 6.2等离子波导 66
-'::$
{ 6.3等离子纳米天线 69
!\N|$-M 6.3.1共振扩张 71
sqk$q pV6 7.光纤 72
v/}hy$7 7.1单模光纤 72
OwG:+T_ 7.2折射率渐变光纤 74
oA$]% 7.3弯曲单模光纤 77
o`ijdg!5qG 7.4光子晶体光纤 78
tU(vt0~b 7.4.1空心光子晶体光纤 78
mi$*,fz 7.4.1.1核心模式过滤 80
Mj- B;r 7.4.1.2扭曲式光子晶体光纤 82
;PG,0R`Z; 7.4.2多核光子晶体光纤 82
.g95E<bd 7.4.2.1减少计算域问题 84
NW@guhK. 8.光学手性 85
@1G`d53N 8.1孤立散射体 85
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