前言
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ksr%gR+ 微纳
光学是当前光学学科发展最活跃的前沿之一,结合了光子学与纳米技术的前沿成果,主要优点是能在局域电磁相互作用的基础上实现许多全新的功能,成为21世纪不可或缺的关键科学和技术。微纳光学不仅是光学领域的前沿研究方向之一,也是目前新型光电子产业的重要发展方向,在光通信、光互联、光存储、传感成像、传感测量、显示、固体
照明、生物医学、安全、绿色能源等领域起到不可替代的作用。在这些广泛的应用领域可以使用
JCMsuite进行模拟分析与设计,大大降低时间成本和物料成本。
O
2+taB JCMsuite是基于有限元方法(FEM)的一款纳米光学软件包。使用有限元方法(FEM)计算复杂纳米
光学系统中电磁场分布,为解决科学和技术挑战提供了一种通用、严格且非常快速的方法。JCMsuite可以解决时谐麦克斯韦方程组的光散射问题、波导设计问题和光学共振问题,以及线性弹性问题、热传导问题以及这些类型的任何耦合问题。
S]gV! Q4% 通过JCMsuite,用户可以定义各种材料特性,例如复杂和各向异性的材料的介电常数和磁导率张量、分散特性、导热率和刚度。软件依赖基于残差的误差估计,自动选择各种数值设置,例如有限元度和PML(完全匹配层)设置。同时也特别关注光学上所有必要的后期处理和有效计算,例如傅立叶变换、远场、能量通量、重叠积分、光学成像、共振扩展和赛尔因子。
_F2ofB' 本书详细介绍了JCMsuite各个应用领域的实操案例。本书共十一章,分别介绍了不同应用领域的案例介绍,包含
激光、掩模、散射测量、椭偏仪、光伏发电、表面等离子体、
光纤、光学手性、衍射光学元件以及光子晶体。每个案例都涵盖了建模流程,从材料定义、布局定义、
光源定义到项目定义整个过程,旨在帮助JCMsuite初学者通过案例快速学会软件。本书主要参考JCMwave公司发布的案例翻译整理而成。
-e_pw,5c ' 《JCMsuite案例指导书籍》,是由上海讯技光电工程部成员翻译整理而来,译者希望本书能对JCMsuite的使用者有所帮助,通过学习后能较好的掌握JCMsuite软件的基本使用方法。由于译者水平有限,书中错误纰漏之处,敬请同行读者批评和指正。
D+Z2y1 @$;I% 讯技光电科技(有限)公司
>ni0:^vp 2022年2月 上海
ixB"6O Z 3-=TN 目录
SjvSnb_3 1.光源部分—引言 3
H4W!@"e 1.1垂直腔面发射
激光器 3
a*nCvZ
1.2高功率二极管激光器 7
i`!>zl+D 1.3量子点发射器 12
$IJ"fs 1.3.1微米柱 12
)vGxF}I3 1.3.1.1旋转对称发射器 14
Dp?lgw 1.3.2微
透镜 18
h~ehZJys 1.3.2.1耦合至光纤 20
eo&G@zwN 1.3.3二维模型 22
+*wo iSD 2.光掩模 23
q( %)^C 2.1衰减相移掩模 24
z#6(PZC} 2.1.1降基法 26
?',GR aD 2.2独立的接触孔 33
Y,-!QFS# 2.3 EUV掩模 37
Xj<xen( 2.4光学成像 42
$ou/ Fn 3.散射测量 43
./CDW 3.1硅通孔技术 43
:,.HJ[Vg& 4.椭偏仪 48
FMT_X 4.1 块状材料 48
yL23Nqe 5.光伏发电 51
q<cxmo0S 5.1 薄膜
太阳能电池 51
oW6b3Q/B 5.1.1薄膜太阳能电池一维模型 59
B_"PFWwg 6.表面等离子体光学 60
+)_#j/ 6.1孤立的狭缝和凹槽 61
sRC?l_n; 6.2等离子波导 66
=0>[-:Z 6.3等离子纳米天线 69
]<u%jTQREd 6.3.1共振扩张 71
Tz7|OV_W$ 7.光纤 72
aX*7tRn_% 7.1单模光纤 72
v|nt(-JX 7.2折射率渐变光纤 74
-=qHwcId 7.3弯曲单模光纤 77
WdbHT|.Aj 7.4光子晶体光纤 78
k|cP]p4, 7.4.1空心光子晶体光纤 78
}synU]^7\ 7.4.1.1核心模式过滤 80
q,=YKw)* 7.4.1.2扭曲式光子晶体光纤 82
6Z;D`X,5 7.4.2多核光子晶体光纤 82
eRg;)[#0>$ 7.4.2.1减少计算域问题 84
3o#K8EL 8.光学手性 85
Y0ACJ?| 8.1孤立散射体 85
SOluTFxUw 8.2四分之一波片 88
0hq\{pw_y* 9.散射光学元件 90
&Zo+F]3d 9.1光栅 91
P8 R^46 9.1.1线栅 92
oz l>Au 9.1.2闪耀光栅 95
!4$-.L)# 9.1.3方形晶胞 97
~oRT@E 9.1.4六方晶胞 99
(w
Q,($@ 9.2孤立线栅 101
<,J O 9.3光阑 104
?8q4texf[ 9.4狭缝 106
ogoEtKi 9.5十字交叉结构 109
B+2.:Zn6 9.6 纳米球 110
/Y[ b8f 10.硅光子 117
/$j,p E= 10.1脊形波导 117
(Vt5@25JW 10.2环形谐振腔 119
\+<=O` 10.3光子晶体谐振腔 124
3w+ +F@( 11.光子晶体 126
/`7G 7pQ+ 11.1光子晶体谐振腔 126
YOtzja]~ 11.2光子晶体光纤 128
r|ogF8YN 11.3一维光子晶体 128
5[P^O6' 有兴趣可以扫码加微咨询
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