前言
:LTN!jj 微纳
光学是当前光学学科发展最活跃的前沿之一，结合了光子学与纳米技术的前沿成果，主要优点是能在局域电磁相互作用的基础上实现许多全新的功能，成为21世纪不可或缺的关键科学和技术。微纳光学不仅是光学领域的前沿研究方向之一，也是目前新型光电子产业的重要发展方向，在光通信、光互联、光存储、传感成像、传感测量、显示、固体
照明、生物医学、安全、绿色能源等领域起到不可替代的作用。在这些广泛的应用领域可以使用
JCMsuite进行模拟分析与设计，大大降低时间成本和物料成本。
V1?]|HTQcT JCMsuite是基于有限元方法(FEM)的一款纳米光学软件包。使用有限元方法(FEM)计算复杂纳米
光学系统中电磁场分布，为解决科学和技术挑战提供了一种通用、严格且非常快速的方法。JCMsuite可以解决时谐麦克斯韦方程组的光散射问题、波导设计问题和光学共振问题，以及线性弹性问题、热传导问题以及这些类型的任何耦合问题。
2%> FR4a 通过JCMsuite，用户可以定义各种材料特性，例如复杂和各向异性的材料的介电常数和磁导率张量、分散特性、导热率和刚度。软件依赖基于残差的误差估计，自动选择各种数值设置，例如有限元度和PML(完全匹配层)设置。同时也特别关注光学上所有必要的后期处理和有效计算，例如傅立叶变换、远场、能量通量、重叠积分、光学成像、共振扩展和赛尔因子。
-+5 >|N# 本书详细介绍了JCMsuite各个应用领域的实操案例。本书共十一章，分别介绍了不同应用领域的案例介绍，包含
激光、掩模、散射测量、椭偏仪、光伏发电、表面等离子体、
光纤、光学手性、衍射光学元件以及光子晶体。每个案例都涵盖了建模流程，从材料定义、布局定义、
光源定义到项目定义整个过程，旨在帮助JCMsuite初学者通过案例快速学会软件。本书主要参考JCMwave公司发布的案例翻译整理而成。
x pI wrJO 《JCMsuite案例指导书籍》，是由上海讯技光电工程部成员翻译整理而来，译者希望本书能对JCMsuite的使用者有所帮助，通过学习后能较好的掌握JCMsuite软件的基本使用方法。由于译者水平有限，书中错误纰漏之处，敬请同行读者批评和指正。
.o8t+X'G @KA4N` 讯技光电科技(有限)公司
eq" ] %s 2022年2月 上海
w*!aZ,P K>9 ()XT) 目录
bfO=;S]b! 1.光源部分—引言 3
mt`.6Xz~ 1.1垂直腔面发射
激光器 3
s r}E +qf 1.2高功率二极管激光器 7
Q^I\cAIB 1.3量子点发射器 12
L(o15 1.3.1微米柱 12
qVPeB,kIz 1.3.1.1旋转对称发射器 14
{| \.i 1.3.2微
透镜 18
h1{ 3njdr 1.3.2.1耦合至光纤 20
E e]-qN*8 1.3.3二维模型 22
H:G1BZjq 2.光掩模 23
Jl<2>@ 2.1衰减相移掩模 24
Nluoqo ac 2.1.1降基法 26
f X)# =c|5 2.2独立的接触孔 33
X(C$@N 2.3 EUV掩模 37
I l.K"ll 2.4光学成像 42
Gc!x|V;T 3.散射测量 43
8X0z~ & 3.1硅通孔技术 43
'n|5ZhXPB 4.椭偏仪 48
iI>A *,{,` 4.1 块状材料 48
\Roz$t-R|f 5.光伏发电 51
- YV>j 5.1 薄膜
太阳能电池 51
4 OX^( 5.1.1薄膜太阳能电池一维模型 59
>3_Gw4S*H 6.表面等离子体光学 60
Bj~+WwD)QR 6.1孤立的狭缝和凹槽 61
{iLT/ i% 6.2等离子波导 66
L-\GHu~) 6.3等离子纳米天线 69
JLi|Td "1% 6.3.1共振扩张 71
C-[1iW' 7.光纤 72
iX\X >W$P 7.1单模光纤 72
|CzSU1ma 7.2折射率渐变光纤 74
!a<ng&H^U 7.3弯曲单模光纤 77
6&-(&( _ 7.4光子晶体光纤 78
Lp7SLkwh3M 7.4.1空心光子晶体光纤 78
@ A 5?3(e 7.4.1.1核心模式过滤 80
9,tej 7.4.1.2扭曲式光子晶体光纤 82
"nWw;-V}} 7.4.2多核光子晶体光纤 82
gO^gxJ '0t 7.4.2.1减少计算域问题 84
@K]|K]cby 8.光学手性 85
}T$p)" 8.1孤立散射体 85
Faf&U%]*` 8.2四分之一波片 88
: c[L3rJl 9.散射光学元件 90
U ? =Dg1 9.1光栅 91
rD>f|kA?L 9.1.1线栅 92
JZ#[
2mLh 9.1.2闪耀光栅 95
h@h! ,; 9.1.3方形晶胞 97
Yuc> fFA 9.1.4六方晶胞 99
(~en ( 9.2孤立线栅 101
TU7' J 9.3光阑 104
X|8c>_} 9.4狭缝 106
##o#eZq:" 9.5十字交叉结构 109
FE{FGM q 9.6 纳米球 110
S+2(f> Z 10.硅光子 117
7!$^r$t 10.1脊形波导 117
6 DWgl$[[ 10.2环形谐振腔 119
# V }IvQl| 10.3光子晶体谐振腔 124
e!r-+.i( 11.光子晶体 126
3{h_&Gbo'D 11.1光子晶体谐振腔 126
,u
g@f-T 11.2光子晶体光纤 128
2>H24F 11.3一维光子晶体 128
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