前言
PPMAj@B}V 微纳
光学是当前光学学科发展最活跃的前沿之一,结合了光子学与纳米技术的前沿成果,主要优点是能在局域电磁相互作用的基础上实现许多全新的功能,成为21世纪不可或缺的关键科学和技术。微纳光学不仅是光学领域的前沿研究方向之一,也是目前新型光电子产业的重要发展方向,在光通信、光互联、光存储、传感成像、传感测量、显示、固体
照明、生物医学、安全、绿色能源等领域起到不可替代的作用。在这些广泛的应用领域可以使用
JCMsuite进行模拟分析与设计,大大降低时间成本和物料成本。
[8v>jQ) JCMsuite是基于有限元方法(FEM)的一款纳米光学软件包。使用有限元方法(FEM)计算复杂纳米
光学系统中电磁场分布,为解决科学和技术挑战提供了一种通用、严格且非常快速的方法。JCMsuite可以解决时谐麦克斯韦方程组的光散射问题、波导设计问题和光学共振问题,以及线性弹性问题、热传导问题以及这些类型的任何耦合问题。
X4I+ 通过JCMsuite,用户可以定义各种材料特性,例如复杂和各向异性的材料的介电常数和磁导率张量、分散特性、导热率和刚度。软件依赖基于残差的误差估计,自动选择各种数值设置,例如有限元度和PML(完全匹配层)设置。同时也特别关注光学上所有必要的后期处理和有效计算,例如傅立叶变换、远场、能量通量、重叠积分、光学成像、共振扩展和赛尔因子。
v-ZTl4j$ 本书详细介绍了JCMsuite各个应用领域的实操案例。本书共十一章,分别介绍了不同应用领域的案例介绍,包含
激光、掩模、散射测量、椭偏仪、光伏发电、表面等离子体、
光纤、光学手性、衍射光学元件以及光子晶体。每个案例都涵盖了建模流程,从材料定义、布局定义、
光源定义到项目定义整个过程,旨在帮助JCMsuite初学者通过案例快速学会软件。本书主要参考JCMwave公司发布的案例翻译整理而成。
S\"#E:A 《JCMsuite案例指导书籍》,是由上海讯技光电工程部成员翻译整理而来,译者希望本书能对JCMsuite的使用者有所帮助,通过学习后能较好的掌握JCMsuite软件的基本使用方法。由于译者水平有限,书中错误纰漏之处,敬请同行读者批评和指正。
^<OcbOn;O c]]e( 讯技光电科技(有限)公司
A-*y[/ 2022年2月 上海
7I4<Dj KMll8X 目录
%|AXVv7IN> 1.光源部分—引言 3
rJ=r_v 1.1垂直腔面发射
激光器 3
iRK&-wn 1.2高功率二极管激光器 7
pr?k~Bn 1.3量子点发射器 12
z`esst\aV 1.3.1微米柱 12
e~P4>3 1.3.1.1旋转对称发射器 14
r<9G}9 1.3.2微
透镜 18
\S]` { kY, 1.3.2.1耦合至光纤 20
VqL#w<A% 1.3.3二维模型 22
e<+$E%"7hS 2.光掩模 23
-,a@bF: 2.1衰减相移掩模 24
J5"d|i 2.1.1降基法 26
f[fH1cu&` 2.2独立的接触孔 33
NE5H\ 2.3 EUV掩模 37
[x8_ax}w 2.4光学成像 42
%Kzu&*9Hb 3.散射测量 43
=Vat2'>+ 3.1硅通孔技术 43
OuMj%I 4.椭偏仪 48
[MXyOE 4.1 块状材料 48
x^~@`]TV^ 5.光伏发电 51
F_.1^XM 5.1 薄膜
太阳能电池 51
8Ao-m38 5.1.1薄膜太阳能电池一维模型 59
iBh.&K{j 6.表面等离子体光学 60
<i~=-Z( 6.1孤立的狭缝和凹槽 61
~i
UG2 4v 6.2等离子波导 66
w`I+4&/h 6.3等离子纳米天线 69
dJ.up*aR 6.3.1共振扩张 71
+%=lu14G 7.光纤 72
~A03J:Yc7 7.1单模光纤 72
8e"MP\0V
7.2折射率渐变光纤 74
p)Fi{%bc 7.3弯曲单模光纤 77
nq
qqP 7.4光子晶体光纤 78
XIBm8IkF 7.4.1空心光子晶体光纤 78
Rrw6\iO 7.4.1.1核心模式过滤 80
LZ}m; 7.4.1.2扭曲式光子晶体光纤 82
`l ?(zy:R 7.4.2多核光子晶体光纤 82
~xt]g zp{ 7.4.2.1减少计算域问题 84
C8KV<k 8.光学手性 85
~FnuO!C 8.1孤立散射体 85
t03T1.:(Mg 8.2四分之一波片 88
UK5u"@T 9.散射光学元件 90
9c{T|+] 9.1光栅 91
7G=Q9^J.H 9.1.1线栅 92
^Eif~v 9.1.2闪耀光栅 95
nSpOTQ 9.1.3方形晶胞 97
QB"+B]rV 9.1.4六方晶胞 99
vD76IG j m 9.2孤立线栅 101
{sW>J0 9.3光阑 104
-unQ4G 9.4狭缝 106
w* \JA+ 9.5十字交叉结构 109
s0m k<>z 9.6 纳米球 110
%$'Z"njO& 10.硅光子 117
a[jNT$8 10.1脊形波导 117
/BwG\GhM 10.2环形谐振腔 119
2$Umqt 10.3光子晶体谐振腔 124
<9]J/w+ 11.光子晶体 126
zNM*xPgS 11.1光子晶体谐振腔 126
d)kOW!5\ 11.2光子晶体光纤 128
cb }OjM F 11.3一维光子晶体 128
L KLLBrm: 有兴趣可以扫码加微咨询
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