前言
#Xa TUT 微纳
光学是当前光学学科发展最活跃的前沿之一，结合了光子学与纳米技术的前沿成果，主要优点是能在局域电磁相互作用的基础上实现许多全新的功能，成为21世纪不可或缺的关键科学和技术。微纳光学不仅是光学领域的前沿研究方向之一，也是目前新型光电子产业的重要发展方向，在光通信、光互联、光存储、传感成像、传感测量、显示、固体
照明、生物医学、安全、绿色能源等领域起到不可替代的作用。在这些广泛的应用领域可以使用
JCMsuite进行模拟分析与设计，大大降低时间成本和物料成本。
p!wx10b JCMsuite是基于有限元方法(FEM)的一款纳米光学软件包。使用有限元方法(FEM)计算复杂纳米
光学系统中电磁场分布，为解决科学和技术挑战提供了一种通用、严格且非常快速的方法。JCMsuite可以解决时谐麦克斯韦方程组的光散射问题、波导设计问题和光学共振问题，以及线性弹性问题、热传导问题以及这些类型的任何耦合问题。
[|)Eyd [G 通过JCMsuite，用户可以定义各种材料特性，例如复杂和各向异性的材料的介电常数和磁导率张量、分散特性、导热率和刚度。软件依赖基于残差的误差估计，自动选择各种数值设置，例如有限元度和PML(完全匹配层)设置。同时也特别关注光学上所有必要的后期处理和有效计算，例如傅立叶变换、远场、能量通量、重叠积分、光学成像、共振扩展和赛尔因子。
jZ5 mp YUO 本书详细介绍了JCMsuite各个应用领域的实操案例。本书共十一章，分别介绍了不同应用领域的案例介绍，包含
激光、掩模、散射测量、椭偏仪、光伏发电、表面等离子体、
光纤、光学手性、衍射光学元件以及光子晶体。每个案例都涵盖了建模流程，从材料定义、布局定义、
光源定义到项目定义整个过程，旨在帮助JCMsuite初学者通过案例快速学会软件。本书主要参考JCMwave公司发布的案例翻译整理而成。
jwe^(U 《JCMsuite案例指导书籍》，是由上海讯技光电工程部成员翻译整理而来，译者希望本书能对JCMsuite的使用者有所帮助，通过学习后能较好的掌握JCMsuite软件的基本使用方法。由于译者水平有限，书中错误纰漏之处，敬请同行读者批评和指正。
n=+ K$ R k ='c*`IE 讯技光电科技(有限)公司
(r ]3tGp 2022年2月 上海
!B#Lea 5jb/[i^V 目录
<.HDv:
1.光源部分—引言 3
Zc<fopi h 1.1垂直腔面发射
激光器 3
@2>j4S c 1.2高功率二极管激光器 7
q yx
' 1.3量子点发射器 12
wACx}'+M 1.3.1微米柱 12
~$PQ8[= 1.3.1.1旋转对称发射器 14
ha%3%O8Z 1.3.2微
透镜 18
"kHQ}#6r 1.3.2.1耦合至光纤 20
Gop;!aV1* 1.3.3二维模型 22
ycr\vn
t 2.光掩模 23
1$]hyC/f 2.1衰减相移掩模 24
s?JNc4q 2.1.1降基法 26
h ?Ni5 2.2独立的接触孔 33
wy1xZQ<5 2.3 EUV掩模 37
f'2Ufd|J| 2.4光学成像 42
X9YYUnR2 3.散射测量 43
EC]b]'._ 3.1硅通孔技术 43
j1 yW{
4.椭偏仪 48
{);S6F$[3 4.1 块状材料 48
YjT7_|` (] 5.光伏发电 51
Pl>S1 5.1 薄膜
太阳能电池 51
V\ 7O) g 5.1.1薄膜太阳能电池一维模型 59
\+STl#3*q 6.表面等离子体光学 60
QQB\$[M!Z 6.1孤立的狭缝和凹槽 61
EzXGb 6.2等离子波导 66
rerl-T<3 6.3等离子纳米天线 69
~ e4Pj`?=K 6.3.1共振扩张 71
Buue][[ 7.光纤 72
' )8c 7.1单模光纤 72
+-VkRr# 7.2折射率渐变光纤 74
m-M.F9 R 7.3弯曲单模光纤 77
h5x_Vjj 7.4光子晶体光纤 78
6^Q Bol 7.4.1空心光子晶体光纤 78
x P3v65Q1 7.4.1.1核心模式过滤 80
y7s:Buyc 7.4.1.2扭曲式光子晶体光纤 82
[ KT'aGK$ 7.4.2多核光子晶体光纤 82
ZP]l%6\. 7.4.2.1减少计算域问题 84
U1Z.#ETnM 8.光学手性 85
!@r1B`]j+" 8.1孤立散射体 85
t81}jD 8.2四分之一波片 88
78iu<L+If 9.散射光学元件 90
h{ R>L s 9.1光栅 91
$Ka-ZPy<# 9.1.1线栅 92
EqN_VT@ 9.1.2闪耀光栅 95
( }E ] g 9.1.3方形晶胞 97
<A g`pZ<s 9.1.4六方晶胞 99
k4:e0Wd 9.2孤立线栅 101
y" (-O%Pe 9.3光阑 104
^ RS?y8 9.4狭缝 106
6eUM[C. 9.5十字交叉结构 109
S#kA$yO 9.6 纳米球 110
xcF:moL 10.硅光子 117
#`1@4,iC 10.1脊形波导 117
aQMUC6cPM@ 10.2环形谐振腔 119
/4]<ro67E6 10.3光子晶体谐振腔 124
U X?EOrfJ 11.光子晶体 126
7kQZ$sLc 11.1光子晶体谐振腔 126
x9, X0JO 11.2光子晶体光纤 128
$rb
#k{ 11.3一维光子晶体 128
jO|D # nC 有兴趣可以扫码加微咨询
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