摘要
~m0=YAlk? )"|wWu
|u$*'EsP oL }d=x/ 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
O U9{Y9e yd'cLZd<} 设计任务
5p:2gsk !vc5NKv#n
UEm4):/} Z![#Uz.z 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
) te_ <W 30(e6T; 扫描参数空间以获取初始解
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bNtOqhi .L^;aL 初始解#1的参数优化
iEy2z+/"^ #)#'^MZX
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Xr4 R`@7f$;wG 最终设计#1的性能分析
jv1p'qs4 &9.3-E47*
aO9\8\^ A e2Y\ sAV 初始解#2的参数优化
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;i+(Q%LO
:J )^gc 最终设计#1的性能分析
t*6C?zEAU 0tMzVxS
'=Jz}F < #-R]HLW* VirtualLab Fusion一瞥
36.mf_AM $[J\sokpY
I<xcVY9L !VrBoU4<d VirtualLab Fusion中的工作流程
c\tw#;\9 ?6I`$ &OA 构建
光栅结构
rfZg ─ Configuration of Grating Structures by Using Interfaces
*]k E3 ─ Configuration of Grating Structures by Using Special Media
a"1LF` 分析光栅
衍射效率
0&r}'f? ─ Grating Order Analyzer
`fVzY"Qv k 使用参数运算寻找初始解
TLVfu4 ─ Usage of the Parameter Run Document
*0'{n*> 使用参数优化确定最终解
@OHNz!Lj:d B8upv~U6 VirtualLab Fusion技术
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