摘要
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"%-Vrb=:Y o<`hj&s 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
vQMBJ& g$nS6w|5H 设计任务
kWzN {]v Aedf (L7\
@]@|H?
,EB}IG] 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
Y %JQ %**f`L%jN 扫描参数空间以获取初始解
P-@MLIC{ [^5\Ww
}s}g}t8v- fj_23{,/"g 初始解#1的参数优化
1+x"
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K=r 5
*pKTJP b^1QyX^?: 最终设计#1的性能分析
O `}EiyV ScPVjqG2{
3nxG>D7 @R[{ 初始解#2的参数优化
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y~SVD@ COrk (V 最终设计#1的性能分析
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lPTx] =G ~Z\:Nx VirtualLab Fusion一瞥
uDF;_bli)H G.W !
\(o"/* 9njwAKF? VirtualLab Fusion中的工作流程
kx"10Vw YDt+1Kw}D 构建
光栅结构
)#=J<OpG ─ Configuration of Grating Structures by Using Interfaces
;XKe$fsa~? ─ Configuration of Grating Structures by Using Special Media
OmYVJt_ 分析光栅
衍射效率
r~4uIUE{ ─ Grating Order Analyzer
J$dwy$n 使用参数运算寻找初始解
P15
H[<:Fz ─ Usage of the Parameter Run Document
<wH+\ 使用参数优化确定最终解
}cKB)N
BJb Fnw:alWr VirtualLab Fusion技术
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