摘要
4vH.B)S-
URTJA<r8D Lr>4~1:` KkHlMwv 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
0`WZ Lhgs|*M 设计任务
;Y &2G' y|.dM.9V %__.-;)o Cmj `WSSa 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
sy9Yd PPE T~N877 扫描参数空间以获取初始解
Nk>6:Ho{G _lk5\bu )4/UzR$ &-Z#+>=H( 初始解#1的参数优化
7.v{ =UP A'? W5~F @]{:juD~ (WS<6j[q 最终设计#1的性能分析
t== a(e ,PyPRPk O$peCv %gx>| 初始解#2的参数优化
~leLQsZ $%J$ {S5D~A*a+ k Nw3Qr 最终设计#1的性能分析
"[]J[!}x %PU{h s!BZrVM%I` < 'qtqUL\ VirtualLab Fusion一瞥
V -9z{ y/A<eHLy /K#J63 , ?B,B<@='% VirtualLab Fusion中的工作流程
N6-bUM6%I _:;j)J0 构建
光栅结构
p/uOCQ|1l ─ Configuration of Grating Structures by Using Interfaces
ol8uV{:" ─ Configuration of Grating Structures by Using Special Media
]r1C 分析光栅
衍射效率
,k3aeM~`%w ─ Grating Order Analyzer
Bcy$"F|r 使用参数运算寻找初始解
-wV0Nv(V8 ─ Usage of the Parameter Run Document
z15QFVm 使用参数优化确定最终解
/ k8;k56 &($Zs'X VirtualLab Fusion技术
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